반도체공학회 물성분석 기술 워크숍

반도체공학회 물성분석 기술 워크숍

안녕하십니까? 회원님의 건강을 기원합니다.

초지능, 초연결 사회가 진행됨에 따라서 반도체 수요가 급격하게 증가하고 있고, 반도체 기술 주도권이 국가경쟁력으로 인식하고 있습니다.

나노급으로 미세화되고 있는 반도체 연구개발 및 제조상에서 반도체 물성분석 기술은 소자특성 및 공정 수준을 평가하는 중요한 기반 기술입니다.

이에 반도체공학회는 반도체 물성분석 기술 전반에 대해서 소개하고, 최신 현황에 대해서 정보를 공유하기 위해 물성분석 기술 워크숍을 준비하였습니다.

이번 워크숍에서는 소자 및 설계 분석의 기초 및 응용, 나노 분석의 기초 및 응용, 반도체 Fab 측정 및 검사의 기초 및 응용에 대한 전문가의 강의로 구성되었습니다.

반도체 관련 산학연 연구개발 및 기업에 종사하는 여러분의 많은 참석을 부탁드리며, 이번 워크숍이 해당 업무에 도움이 되시기를 기원합니다.

감사합니다.

2023년 7월

 물성분석연구회 위원장 강상우

물성분석연구회 부위원장 양준모

반도체공학회 회장 이규복

사전등록 기한: 2023년 8월 10일(목) 까지

나노종합기술원 1층 나노홀

  • 주소: 대전광역시 유성구 대학로 291 (한국과학기술원)
  • 연락처: 042-366-1550
  • 오시는 길: 홈페이지 참조(링크)

신채호 박사

한국표준과학연구원

양준모 박사

나노종합기술원

범진욱 교수

서강대학교

김형섭 교수

성균관대학교

PROGRAM 2023년 8월 17일
9:00 오전 - 9:30 오전

등록 및 인사

나노홀

9:30 오전 - 10:40 오전

최신 반도체소자 개발 현황

나노홀

DRAM 소자의 기술적 발전 방향 / NAND 소자의 기술적 발전 방향 /로직 소자의 기술적 발전 방향

10:50 오전 - 12:00 오후

소자분석의 기초 및 응용

나노홀

반도체 소자분석의 기초 / 전기적 특성 측정 및 분석

12:00 오후 - 1:00 오후

점심

1:00 오후 - 2:10 오후

설계분석의 기초 및 응용

나노홀

반도체 설계분석의 기초 / 반도체 설계분석의 응용

2:20 오후 - 3:30 오후

나노분석의 기초 및 응용

나노홀

나노분석의 기초 / 구조분석(TEM/SEM/FIB 등) / 표면분석(SIMS, XPS, AES 등)

3:40 오후 - 4:50 오후

반도체 Fab 측정 및 검사의 기초 및 응용

나노홀

Fab 측정 및 검사의 기초 / Fab 측정 및 검사의 응용

5:00 오후 - 5:30 오후

나노팹 투어

  • 날짜 :
  • 시간 : 09:00 오전 ~ 05:30 오후 (Asia/Seoul)
  • 장소 : 나노종합기술원 1층 나노홀

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